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產品分類日本LINTEC(琳得科)汽化器 的典型型號及技術介紹,適用于半導體、電子封裝等領域的精密涂布工藝:
型號:VEC-2000
用途:液態材料(光刻膠、溶劑)的汽化沉積
技術參數:
汽化溫度范圍:50~300℃(±0.5℃控溫)
最大流量:2000cc/min
適用材料粘度:1-1000cP
優勢:
? 均勻汽化,膜厚偏差<±3%
? 模塊化設計,支持快速換料
型號:VEC-3000P
用途:半導體晶圓級封裝(如PI膠、SiO?前驅體)
技術參數:
汽化精度:±0.1mg/min
支持惰性氣體保護(N?/Ar)
集成式過濾器(防顆粒污染)
優勢:
? 適用于高純度工藝(Class 100潔凈環境)
? 符合SEMI標準
領域 | 應用案例 | 適配型號 |
---|---|---|
半導體封裝 | 晶圓凸點封裝(Underfill) | VEC-3000P |
顯示面板 | OLED薄膜封裝 | VEC-2000 |
光伏 | 太陽能電池鈍化層沉積 | VEC-2000 |
無氣泡汽化:專的利渦流加熱技術,避免材料分解
智能控制:觸摸屏設定參數,自動記錄工藝數據
安全設計:過溫/過壓保護,通過CE/JIS認證
基礎工藝:VEC-2000(性價比高)
高純環境:VEC-3000P(超低顆粒釋放)