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更新時間：2023-10-30 
瀏覽次數：616采用固定橋式結構，可提供初項達0.28微米的測量精度。
LEGEX系列是初項達0.28μm的高精度CNC三坐標測量機，對所有可能產生誤差的因素進行嚴格分析并排除或地降低其影響。
本體底座部分嚴選材料，采用密封結構以實現高剛性、高衰減性。采用FEM結構解析模擬進行的應力分析，保證了幾何運動精度，使負荷及其它變量波動造成的誤差降至最小。此外，還引入了各種技術來實現超高精度，如驅動單元的結構和振動對策等。
用于位置檢測的長度測量單元配備了超高精度測量單元（自社開發），該單元采用熱膨脹系數為≒0的超高精度微晶玻璃尺和高分辨力、高性能反射線性編碼器的組合，具有位置檢測能力，可實現超高精度的機器控制功能。此外，提供豐富的選件，包括觸發式和非觸發式測頭，數據處理部等支持各種工件輕松實現高精度測量。
● 初項精度：0.28μm~
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